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第913节

 

“陆总说的没毛病!”

孙红军机敏地当捧哏。

“咱们研究起步晚,技术经验积累少,人才还不够不精,再加上特么的技术封锁,能在这么短的时间,攻克65narf干式光刻机,就已经很不正常了,再快就该拍科幻片了。”

陆飞笑道:“落后不可怕,可怕的是不追赶,你看我们现在,已经步入正轨了。”

“可不是嘛,快赶上小霓虹了!”

孙红军嘿然一笑。

就像霓虹在新能源上梭哈错了氢能,在光刻机路线上,不去梭哈湿刻法,而是全力押注干刻法,却失败了,白白耗费人力财力时间。

今后,逻辑的光刻机就可以跟尼康、佳能竞争低端光刻机市场,先干翻了小霓虹!

“所以啊,尹教授,我知道你很急,但你先别急,arfi会有的,euv也会有的!”

陆飞环顾四周,激励士气。

“陆总!”

尹志尧郑重地点了下头,他作为中微半导体的领军人,非常清楚逻辑是两条腿走路,既跟微电子为首的单位合作arfi光刻机,又跟长春光机为主的科研所研究euv光刻机。

而且满世界找帮手,比如徕卡。

“老孙,这次的奖励方案做出来了嘛?”

陆飞侧目望向孙红军。

“已经拟出个初步方案,就等您来定。”

孙红军应了一声。

“嗯,但凡这次参与光刻机项目的,哪怕是拧了个螺丝的,也要多发奖金!”

陆飞双手叉腰,“65n有了,还怕没有arfi?没有euv?接下来我们就向32n、28n,甚至28n以下的发起冲击,不管是10年、20年,还是多长时间,也要搞出来!把这颗工业明珠给我摘下来,当弹珠卖!”

“我就是怕耽误了先进制程工艺的进程,毕竟我们买不到最先进的duv光刻机。”

尹志尧脸上露出一丝愧疚。

“梁博士,你的意思呢?”

陆飞把目光投向梁孟松。

“陆总放心,难度肯定是有的,但我可以保证,32n,今年下半年就能风险性试产。”

梁孟松话锋一转,说出难题。

芯片代工制造的过程非常复杂,需要多方面的技术和设备支持,就像14n是个关键的分界线,28n也是个关键的分界线。

但设备还不是他最担心的,他最担心的是中芯被台积电打倒之后,下一个就轮到逻辑。

“这种情况我不是没有考虑。”

陆飞摆了摆手:“所以才把逻辑、澎拜的三分之一的产能放在台积电,就是让章忠谋顾虑,既想对付我们,又怕失去我们的订单。”

“可按我对章忠谋的了解,肯定不会善罢甘休。”梁孟松忧心道,“另外还有三星……”

陆飞笑道:“梁博士,三星现在的技术负责人还是蒋尚义,哪怕拿到了euv光刻机,你觉得他有这个能力带领三星冲击制程吗?”

“没有!”

梁孟松想也不想,“没这个可能!”

“对嘛,就连40/45n工艺,三星还是靠我们,很难说不会又在一个节点上卡住,难以突破。”陆飞严肃说,“这么一比,台积电才是我们最大的敌人!不管现在,还是将来!”

“台积电那边计划今年过渡到32n,然后最早在明年转向28n,我们的进度并不比台积电慢。”梁孟松自信满满。

“梁博士,假如,我是说假如,假如没有最先进的代工厂给逻辑造芯片,假如逻辑还造不出比较先进的光刻机,假如……”

陆飞把前世华为遭到的打压说了一遍。

“陆总,这种极限施压情况下,也不是没有办法,可以考虑多重曝光技术。”

梁孟松沉吟片刻,一一列出优缺点。

尤其是缺点,虽然经过多重曝光工艺,可以改变光刻机的制程极限,但良品率低。

而且每次曝光都需要校准,而对准误差会在多次曝光中积累,进而影响芯片的质量。

“除了损耗,就是成本,多次曝光需要更多的光刻胶、耗材和设备,这个投入可能……”

不等梁孟松往下说,孙红军突然打断。

陆飞和他相视一笑,光刻机的光刻胶等材料,早就纳入备胎计划。

“梁博士、尹教授,我们已经投资了博康化学等十几家公司,研发攻克光刻胶这些重要材料。”孙红军笑说,“而且找了德国的明斯特、亚琛工业等多家高校,跟我们国内的科研院校,合力打破霓虹这方面的优势。”

“啊?”

梁孟松和尹志尧面面相觑。

“这是公司的绝密,注意保密。”

陆飞郑重地叮嘱,现在需要偷偷摸摸地发育,特别是光刻机,最缺的就是发育时间。

“陆总,孙总,你们放心!”

梁孟松信誓旦旦地保证,就算台积电、三星的光刻机领先逻辑,哪怕制程工艺先突破28n,甚至20n也无妨,他能想办法从28n,跨越22n、20n,直接到14n。

把因为光刻机设备和技术封锁而落后的代差跟时间,统统给追回来!

“是不是又要跳代?”

陆飞把眼睛眯成一条缝。

梁孟松点头说:“只要尹总能造出28n光刻机就够了,别是14n,就是7n,我也能你们给搓出来!把光刻机上的劣势给扳回来!就是不知道陆总敢不敢再跟我拼一次?”

“有什么不敢?”

“拼,只管给我拼!不要给我心疼钱,我最不怕花钱,但最怕你们不花钱。”陆飞睨了眼孙红军,“老孙,除了德国,霓虹那边也盯紧点,特别是佳能、尼康的动静。”

“尼康那边好像认命了,倒是佳能,选择了另一条道路,研究纳米压印(nil)。”

孙红军也说不出个所以然。

陆飞让他再探再报,跟进佳能的nil路线,然后冷不丁来一句,“光刻厂有没有搞头?”

“什么?!”

梁孟松等人一脸震惊。

光刻厂?

只听过光刻机,光刻厂是什么东西?

“咳咳,我是这么想的,asl的光刻机,为了卖出去,才要小型化、产品化、量产化,这个难度很大,但如果我们把光刻机不做小,而是当基础设施来盖,比如一个足球场大小,是不是可以弥补光源、镜片这些问题?”

陆飞看他们一脸茫然,于是换种说法。

相当于造不出热水器,就建个锅炉房,然后接水龙头,一次性接十几个,能放出428n、14n、7n这些不同温度的水。

“这个提法,我好像在哪里听过……”

梁孟松吸了一口气,思索了片刻,突然灵光一现,“对,水木!水木大学有篇论文!”

“真有?”

孙红军、尹志尧简直不敢相信。

“不过只是一个概念,叫稳态微聚束加速器光源,也叫ssb。”梁孟松解释说,“我关注这个,还是因为提出这个概念的教授,是杨振柠先生的弟子,可行性还有待检验。”

“只要有可能,就值得投资。”

陆飞计划去趟水木大学,顺便把自己存那里一直没时间取的eba硕士证书给领了。

“陆总,在这之前,我们是不是先去见见章汝京?章总一直在等您从香江回来。”

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