第1034节
括超过10万个零件,4万个螺栓、3000条线路软管,总长超过两公里,设备重达180吨。
光给三星的那台试验机,就需要40个集装箱、20辆卡车和三架货机,仅调试时间,就长达一年。
而在这10万个零件中,一些特殊零件非常复杂,比如紫外光源和光学镜头等,蔡斯公司提供生产镜头、各种反光镜和其他光学元件,目前世界上没有任何公司可以模仿。
卡住了光学镜头,量国产光刻机也造不出来,他打心底里,就不认为大陆能凭一己之力,在不借助国外的情况下,能搞出光刻机。
“可以,但能不能说服asl,我们不敢百分之百地保证。”蔡力行又点了下头。
“还有,我们还希望邀请贵公司的林本坚博士来大陆来,协助光刻机的研发项目。”
陆飞敲了敲桌面。
章忠谋立刻打起十二分精神,“不好意思,陆总,林本坚博士早就从台积电退休了,我们不能替他做出,能不能重新出山,要看他本人的意愿。”
陆飞也不强求,改成了让台积电帮复芯跟林本坚牵线搭桥,说服出山的工作他们来办!
章忠谋当然是不愿意让浸润式光刻机之父林本坚出山,那不像梁孟松一样资敌了嘛!
不能给大陆半导体任何领先的机会!
只要能控制了所有的技术瓶颈!
“我要的就这几个条件,不过分吧?”
陆飞左看看,右看看。
“我们这边没有任何问题,但我们还要跟公司里商量,可能需要经过董事会的决议。”
章忠谋喝了口水。
工信部领导们看向陆飞,见他没有异议地点了下头:“该走的程序还是要走,应该能在在24号以前给出准确的答复吧?”
在得到了肯定的答复之后,双方握手言和,接着陆飞目送章忠谋等人先行离开。
电子司司长纳闷不已,“你们这既要林本坚,又要asl和台积电提供光刻机的技术专利,复芯到底是要投资asl,还是要自己独立地研发光刻机?”
“为什么两个不可以同时有呢?”
陆飞嘴角扬起一抹笑意。
“嘶,全都要?”
工信部领导们或多或少感到惊讶,怎么夜没想到陆飞的野心和贪心竟然这么大!
“爹有,娘有,不如自己有,我们肯定要有自己国产的光刻机,如果能拿到浸润式光刻机重要的技术资料和专利,别的不敢保证,中微半导体研发的时长可以提前,也许三年,也许五年,就可以有生产45n,甚至是28n的浸润式光刻机,我们自己的光刻机!”
陆飞把拳头攥得紧紧的。
这一嗓子,把工信部的领导们的情绪也给调动了,一个个热血澎湃,副部长笑道: