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第912节

 

艺最高可以推进到65n,想要更上一层——

就得用到浸入技术,也就是让镜头和硅片之间的空间浸泡于液体之中,在此基础上,就有了四代半的浸入步进式投影式光刻机。

本来,逻辑跟asl这些国际一线的光刻机厂商,就只剩arfi这么个半代差距。

但euv光刻机一出现,又把这个差距拉到了至少15代,而且这个技术差距,不像制程工艺那么好追,是整个产业链的全面落后。

“不是我急,陆总,一旦euv预生产成功的话,英特尔、三星、台积电也许不出年,就能得到euv光刻机的生产线……”

尹志尧话里无不透着焦虑。

“尹教授,这台euv,asl、三星、英特尔、蔡司、台积电它们花了多久才研制出来?”陆飞透过面罩的玻璃,直直看去。

“从林本坚提出浸润式微影技术的理论,到现在,大概十三、十四年。”

梁孟松站出来回答。

“对嘛,这不就结了。”

陆飞拍了拍尹志尧的肩膀,“euv集欧美日韩这么多全球最顶尖的半导体公司和人才,也要花13年的时间,何况是我们呢!”

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